Defect pattern classification of semiconductor wafers using clustering and statistical analysis
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작성자 관리자
조회 1,553회 작성일 20-12-20 02:32
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| Conference | INFORMS Annual Meeting, San Francisco, California, USA. |
|---|---|
| Name | Lee, J.-S. , Chang, K.-S., Seo, S.-H., and Jun, C.-H. |
| Year | 2005 |
Lee, J.-S. , Chang, K.-S., Seo, S.-H., and Jun, C.-H.